晶萃光學JCOPTIX提供的高性能氣浮隔振光學平臺采用三線擺桿設計，可保證豎直和水平固有頻率均保持在1.5 Hz范圍內(nèi)（同實際負載相關）。臺面由磁性不銹鋼上面板、密封杯、蜂窩桁架以及底板鋼共四層組成。磁性不銹鋼上面板經(jīng)過精密打磨，保證平臺臺面平面度< 50 μm/m2，粗糙度< 0.8 μm。上面板下密封杯結構可以有效阻止污染物進入蜂窩結構，并阻隔蜂窩桁架內(nèi)部氣流。臺面下部為高性能氣浮隔振器，支腿為獨立式圓腿支撐，無整體共振，內(nèi)部三線擺設計可將振動隔離到最低水平，并在受到干擾后實現(xiàn)高精度工作臺重新定位，普通的層流阻尼采用的是在主氣室與二級氣室之間增加一個氣孔的方式用來壓縮以及釋放氣體，從而實現(xiàn)控制穩(wěn)定性。而微米級層流阻尼則是將一個氣室改為許多個微米級的小孔，這樣將大大增加我們阻尼效率，并且降低了工作振幅，混合腔設計極大增加了給定尺寸下的柔性體積，同時降低了固有頻率。

臺面可選配TMD調諧質量阻尼器。高性能氣浮隔振光學平臺搭配使用的蜂窩粘接光學平臺內(nèi)部，可選擇安裝調諧質量阻尼器(可選配2、4、6個)，通過調諧質量阻尼(TMD)技術消除平臺共振。在所有已知的被動阻尼方法中，TMD是最有效的方法，因為它將阻尼力集中在主共振模式的頻率上。為達到高效、高性能的阻尼效果，大多數(shù)同類產(chǎn)品采用的是寬頻帶阻尼方法，在寬頻帶內(nèi)平均吸收適量的振動能量，與之相比，調諧質量阻尼方法主要針對共振頻率的振動，因此更加有效。

高性能氣浮隔振光學平臺系列可選臺面厚度為100 mm、200 mm、300 mm，帶磁不銹鋼頂板的厚度為5 mm，表面帶有M6螺紋孔，間距和孔深均為25 mm。晶萃光學已推出從1200 mm × 800 mm到4000 mm × 1500 mm尺寸的高性能氣浮隔振光學平臺。如需要其他特殊尺寸定制，請聯(lián)系客服。