晶萃光學(xué)JCOPTIX提供的高性能氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)采用三線擺桿設(shè)計(jì)，可保證豎直和水平固有頻率均保持在1.5 Hz范圍內(nèi)（同實(shí)際負(fù)載相關(guān)）。臺(tái)面由磁性不銹鋼上面板、密封杯、蜂窩桁架以及底板鋼共四層組成。磁性不銹鋼上面板經(jīng)過(guò)精密打磨，保證平臺(tái)臺(tái)面平面度< 50 μm/m2，粗糙度< 0.8 μm。上面板下密封杯結(jié)構(gòu)可以有效阻止污染物進(jìn)入蜂窩結(jié)構(gòu)，并阻隔蜂窩桁架內(nèi)部氣流。臺(tái)面下部為高性能氣浮隔振器，支腿為獨(dú)立式圓腿支撐，無(wú)整體共振，內(nèi)部三線擺設(shè)計(jì)可將振動(dòng)隔離到最低水平，并在受到干擾后實(shí)現(xiàn)高精度工作臺(tái)重新定位，普通的層流阻尼采用的是在主氣室與二級(jí)氣室之間增加一個(gè)氣孔的方式用來(lái)壓縮以及釋放氣體，從而實(shí)現(xiàn)控制穩(wěn)定性。而微米級(jí)層流阻尼則是將一個(gè)氣室改為許多個(gè)微米級(jí)的小孔，這樣將大大增加我們阻尼效率，并且降低了工作振幅，混合腔設(shè)計(jì)極大增加了給定尺寸下的柔性體積，同時(shí)降低了固有頻率。

臺(tái)面可選配TMD調(diào)諧質(zhì)量阻尼器。高性能氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)搭配使用的蜂窩粘接光學(xué)平臺(tái)內(nèi)部，可選擇安裝調(diào)諧質(zhì)量阻尼器(可選配2、4、6個(gè))，通過(guò)調(diào)諧質(zhì)量阻尼(TMD)技術(shù)消除平臺(tái)共振。在所有已知的被動(dòng)阻尼方法中，TMD是最有效的方法，因?yàn)樗鼘⒆枘崃性谥鞴舱衲Ｊ降念l率上。為達(dá)到高效、高性能的阻尼效果，大多數(shù)同類產(chǎn)品采用的是寬頻帶阻尼方法，在寬頻帶內(nèi)平均吸收適量的振動(dòng)能量，與之相比，調(diào)諧質(zhì)量阻尼方法主要針對(duì)共振頻率的振動(dòng)，因此更加有效。

高性能氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)系列可選臺(tái)面厚度為100 mm、200 mm、300 mm，帶磁不銹鋼頂板的厚度為5 mm，表面帶有M6螺紋孔，間距和孔深均為25 mm。晶萃光學(xué)已推出從1200 mm × 800 mm到4000 mm × 1500 mm尺寸的高性能氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)。如需要其他特殊尺寸定制，請(qǐng)聯(lián)系客服。